Wie können wertvolle Ressourcen in der Halbleiterfertigung eingespart werden, ohne Kompromisse bei der Qualität einzugehen?
Mit dieser Fragestellung beschäftigt sich unser Verbundprojekt „PolMehrNutz – Polierslurry-Mehrfachnutzung für das chemisch-mechanische Polieren von III-V-Halbleiter-Substraten“.
 
Das Vorhaben wird von der Europäischen Union kofinanziert und unterstützt die Entwicklung nachhaltiger und ressourceneffizienter Technologien für die Halbleiterindustrie.